1樓：智慧機器人
離子注入機由離子源、質量分析器、加速器、四級透鏡、掃瞄系統和靶室組成，可以根據實際需要省去次要部位。離子源是離子注入機的主要部位，作用是把需要注入的元素氣態粒子電離成離子，決定要注入離子的種類和束流強度。離子源直流放電或高頻放電產生的電子作為轟擊粒子，當外來電子的能量高於原子的電離電位時，通過碰撞使元素髮生電離。
碰撞後除了原始電子外，還出現正電子。
和二次電子。正離子。
進入質量分析器選出需要的離子，再經過加速器獲得較高能量，由四級透鏡聚焦後進入靶室，進行離子注入。
高能離子注入的優勢：
多樣性：原則上任何元素都可以作為注入離子；形成的結構可不受熱力學引數（擴散、溶解度。
等）限制；不改變：不改變工件的原有尺寸和粗糙度。
等；適合於各類精密零件生產的最後一道工序；
牢固性：注入離子直接和材料表面原子或分子結合，形成改性層，改性層和基底材料沒有清晰的介面，結合牢靠，不存在脫落的現象手蘆；
不受限粗高：注入過程在材料溫度低於零下、高到幾百上千度都可以進行；可對那些普通方法不能處理的材料進行表面強化，如塑料、回火溫度低的鋼材等；
應用：離子注入機是積體電路。
製造前工序中的關鍵裝置，離子注入是對半導體表面附近區域進行摻雜的技術，其目的是改變半導體的載流子濃度和導電型別。離子注入與常規熱摻雜工藝相比可對注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴散等方面進行精確的控制，克服了常規工藝的限制，提高了電路的巖薯尺整合度、開啟速度、成品率和壽命，降低了成本和功耗。離子注入機廣泛用於摻雜工藝，可以滿足淺結、低溫和精確控制等要求，已成為積體電路製造工藝中必不可少的關鍵裝備。
2樓：網友
離子注入是一種摻雜方式，主要是通過高速電場加速給予摻雜離子很高的能量讓其轟擊半導體層，通過與半導體原子核或電子的碰撞停在半導體內部（一般是讓其代替半導體（si）原子在晶格中的位置），提供電子或空穴。離子注入機主要由產生注入離子的離子源，吸取、加速電極，磁分析器和聚焦系統和載臺等構成，按規格也各有不液乎缺同，有的沒有磁分析器，有的是先通過分析器篩選出注入離子後在進行加速，也有的是先加速後篩頃碰選，更有在磁分析器單元裡面設定聚焦鬧辯磁場的離子注入機等等，大致原理都差不多。
離子注入原理
3樓：帳號已登出
離子注入技術又是近30年來在國際上蓬勃發展和廣泛應用的一種材料表面改性高新技術。
其基本原理是：用能量為100kev量級的離子束入射到材料中肢脊旦去，離子束與材料中的原子或分子將發生一系列物理的和化學的相互作用，入射離子逐漸損失能量，最後停留在材料中，並引起材料表面成分、結構和效能發生變化，從而優化材料表面效能，或獲得某些新的優異性歷擾能。
此項高新技術由於其獨特而突出的優點，已野帶經在半導體材料摻雜，金屬、陶瓷、高分子聚合物等的表面改性上獲得了極為廣泛的應用，取得了巨大的經濟效益和社會效益。
4樓：江西國材科技****
離子注入（ion implantation）是一種通過利用高能離子注入物質表面來改變材料特性的技術。它主要是利用電場和磁場將高能離子加速，然後注入到材料表面或體內，使得材料原子受到離子轟擊而發生相應的物理和化學反應。
離子注入的原理包括以下幾個方面：
1. 加速離子：離子注入裝置利用加速器將原子、分子或離子加速到非常高的速度，達到mev級別的能量，然後讓它們被束縛成束。
2. 穩定束流：將加速的離子束聚焦並穩定成束流，以便進行精確的注入。
3. 控制注入劑量：控制離子束流的電荷量和時間，從而控制離子在材料中注入的劑量。
4. 注入深度：離子在材料中的注入深度和分佈取決於離子的種類、能量和注入角度等引數。
5. 物理和化學作用：注入的離子與材料原子發生物理和化學反應，如置換反應、離子化、飢畝激發和退激發等，導致材料性質的改變。
離子注入技術可以用於製造半導體器件、光學器件老嫌、固態雷射器、磁記錄介質等各種電子、光電和磁性材料。在製造過程中，離子注入可以改善物質的電導性、光學吸收、磁性、化學穩定性和硬度等方面的效能，並且可以控制材料的形態和爛含森尺寸。
什麼是離子注入機？
5樓：願你的生活豐富多彩
離子注入機是高壓小型加速器中的一種，應用數量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用作半導體材料、大規模積體電路和器件的離子注入，還用於金屬材料表面改性和制膜等。
離子注入的應用
6樓：奇巧又慎重丶彩霞
在電子工業中，離子注入成為了微電子工藝中的一種重要的摻雜技術，也是控制mosfet閾值電壓的乙個重要手段。因此在當代製造大規模積體電路中，可以說是一種必不可少的手段。
離子注入的方法就是在真空中、低溫下，把雜質離子加速（對si，電壓≥105 v），獲得很大動能的雜質離子即可以直接進入半導體中；同時也會在半導體中產生一些晶格缺陷，因此在離子注入後需用低溫進行退火或雷射退火來消除這些缺陷。離子注入的雜質濃度分佈一般呈現為高斯分佈，並且濃度最高處不是在表面，而是在表面以內的一定深度處。
離子注入的優點是能精確控制雜質的總劑量、深度分佈和麵均勻性，而且是低溫工藝（可防止原來雜質的再擴散等），同時可實現自對準技術（以減小電容效應）。
離子注入技術的介紹
7樓：殳厹絢
離子注入技雹消術：把摻雜劑的原子引入固體中的一種材料改性方法。簡單地說，離子注談喚入的過程，就是在真空系統中，用經過加源侍知速的，要摻雜的原子的離子照射（注入）固體材料，從而在所選擇的（即被注入的）區域形成乙個具有特殊性質的表面層（注入層）。
8樓：江西國材科技****
離子注入技術是通過將高能離子注入到材料表面或體中，從而改變其物理和化學性質的一種表面處理技術。這種技術可以使材料表面形成硬度、耐磨性和耐腐虧攜蝕性更高的層，還可以增強材料的電效能和磁效能等特性。離子注入技術廣泛應用於侍信半導體工業、汽車、航空航天、生命科學等領域。
它被認為是一種高效的表面處理技術，因為它可以在不破壞材料整體結構的情況下，改變其表面和近表面的物理和化學性質。同時，它也有一些限制，例如注入的離子種老空輪類和能量、注入時間和溫度等都會影響表面處理效果。
離子注入的介紹
9樓：霧裡
離子注入是指當真空中有一束離子束射向一塊固體材料時，離子束把固體材料的原子或分子撞出固體材料表面，這個現象叫返備做濺射；而當離子束射到固體材料時，從固體材料表面彈了回來，悄擾或者穿出固體材料而去，這些現象叫做散射；另外有一種現象是，離子束射到固體材料以後，受到固體材啟世旦料的抵抗而速度慢慢減低下來，並最終停留在固體材料中的這一現象。
離子注入是不是分子生物學技術？
離子注入後形成的表面合金，彎攜其耐腐蝕性埋滑伏相當於相應合金的效能，更重要的是，離子注入還可以讓培獲得特殊的耐蝕性非晶態或亞穩態表面合金，而且離子注入和離子束分析技術相結合，作為一種重要的研究手段，有助於表面合金化及其機制的研究。.和父母談心如果父母重男輕女，要找個機會，和父母談一談，訴說自己心中的...